




氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理
今天科儀創(chuàng)新的小編和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理,希望對(duì)您有所幫助!
氦質(zhì)譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質(zhì)譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離,根據(jù)不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點(diǎn),利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開來(lái)。儀器對(duì)其示漏氣體氦氣有響應(yīng)信號(hào),而對(duì)其他氣體沒(méi)有響應(yīng),從而檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀熱管檢漏熱管熱管(HeatPipe)是利用熱傳導(dǎo)原理與致冷介質(zhì)的快速熱傳遞性質(zhì),透過(guò)熱管將發(fā)熱物體的熱量迅速傳遞到熱源外,其導(dǎo)熱能力超過(guò)任何已知金屬的導(dǎo)熱能力。
氦質(zhì)譜檢漏儀熱管檢漏
熱管
熱管 (Heat Pipe) 是利用熱傳導(dǎo)原理與致冷介質(zhì)的快速熱傳遞性質(zhì),透過(guò)熱管將發(fā)熱物體的熱量迅速傳遞到熱源外,其導(dǎo)熱能力超過(guò)任何已知金屬的導(dǎo)熱能力。熱管技術(shù)目前廣泛應(yīng)用于計(jì)算機(jī)、各類電器等設(shè)備散熱,常見(jiàn)的形狀有圓管狀,板塊狀 (VC 單體) 等。用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因選擇示漏氣體(示蹤氣體)的原則是:它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低。
熱管需要檢漏原因:
熱管內(nèi)部填充特殊液體用來(lái)增強(qiáng)熱傳導(dǎo)性能,如果熱管本身存在漏點(diǎn),首先會(huì)影響熱管的導(dǎo)熱性能;由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。其次由于熱管都是安裝在設(shè)備內(nèi)部,如果發(fā)生泄漏,里面封裝的液體就會(huì)流出,嚴(yán)重污染和影響設(shè)備的正常運(yùn)轉(zhuǎn),所以熱管生產(chǎn)企業(yè),都會(huì)采用 氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)熱管進(jìn)行檢漏。
熱管檢漏客戶案例:某電子股份公司,是世界 IT 產(chǎn)業(yè) 500 強(qiáng)之一,分公司及營(yíng)業(yè)處遍及美國(guó)、日本、歐洲、蘇格蘭、新加坡等地,全球員工近 90000人。該企業(yè)是全球較大的電源供應(yīng)器制造商,市場(chǎng)占有率達(dá) 25% 以上。
熱管檢漏方法:
該企業(yè)熱管出廠前標(biāo)準(zhǔn)漏率合格線是 E-8 mbarl/s,使用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時(shí),設(shè)定 E-8 為報(bào)警值,當(dāng)漏率低于該值時(shí)產(chǎn)品是合格的,當(dāng)漏率高于此值,檢漏儀發(fā)出聲光警報(bào),說(shuō)明產(chǎn)品有漏。
熱管采用檢漏儀的真空檢漏模式,因?yàn)楫a(chǎn)品沒(méi)有抽真空的標(biāo)準(zhǔn)接口,上海伯東根據(jù)客戶實(shí)際情況定制真空夾具,一頭連接檢漏儀,一頭連接產(chǎn)品,具體做法如下:
1.啟動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀,裝上夾具
2.將熱管插入夾具,并用真空封泥封堵
3.按下檢漏儀啟動(dòng)鍵,開始抽真空
4.在產(chǎn)品周圍噴氦氣,以 E-8 mbarl/s 為合格線
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氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì),其基本原理是根據(jù)離子在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí),不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來(lái)實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時(shí)先打開抽空閥前級(jí)泵對(duì)檢漏接口抽真空,當(dāng)真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時(shí),打開入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測(cè)出來(lái),此時(shí)檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。如果在離大運(yùn)動(dòng)的路徑中安置一塊檔板將其他離子檔掉,而在對(duì)應(yīng)的氦離子運(yùn)動(dòng)半徑位置的檔板上開一狹縫,狹縫后安置離子接收極,這樣的只有氦離子才能通過(guò)狹縫而被接收極接收形成氦離子流,并經(jīng)放大器放大后由測(cè)量?jī)x表指示出來(lái)。前級(jí)泵繼續(xù)對(duì)檢漏接口抽真空,當(dāng)P1降至20 Pa 時(shí),入口閥2 關(guān)閉,入口閥3 打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短,此時(shí)檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。
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